工件臺(tái)激光干涉儀測(cè)量誤差模型研究.pdf

1、多自由度精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)是集成電路設(shè)備、精密加工機(jī)床等的關(guān)鍵部件，具有速度大、精度高的特性，其運(yùn)動(dòng)精度直接影響整機(jī)的性能，因此多自由度精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)的高速高精運(yùn)動(dòng)控制十分關(guān)鍵。實(shí)現(xiàn)多自由度精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)的高精度運(yùn)動(dòng)控制，需要建立準(zhǔn)確的測(cè)量模型。在這些模型和算法中存在大量的參數(shù)需要辨識(shí)與校準(zhǔn)，參數(shù)辨識(shí)與校準(zhǔn)直接影響光刻機(jī)工件臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度。本文以工件臺(tái)測(cè)量系統(tǒng)中的6軸雙頻激光干涉儀為對(duì)象，定量分析各種測(cè)量誤差，對(duì)阿貝誤差和余弦誤差進(jìn)行了數(shù)學(xué)建模。

2、 阿貝誤差和余弦誤差模型通過(guò)分區(qū)的方式計(jì)算工件臺(tái)與雙頻激光干涉儀之間每個(gè)光軸的四條光束在各區(qū)間的光程，再結(jié)合權(quán)重因子得到X、Y向6個(gè)光軸的光程。以在工件臺(tái)傾斜和工件臺(tái)旋轉(zhuǎn)下的X、Y向6個(gè)光軸光程為基礎(chǔ)，計(jì)算出干涉儀光束傾斜時(shí)工件臺(tái)同時(shí)傾斜和干涉儀光束旋轉(zhuǎn)時(shí)工件臺(tái)同時(shí)旋轉(zhuǎn)的X、Y向6個(gè)光軸光程，通過(guò)疊加換算得到含有機(jī)器常數(shù)的誤差模型。 根據(jù)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)擬合出誤差模型中的各個(gè)機(jī)器常數(shù)，對(duì)該誤差模型的正確性和有效性進(jìn)行驗(yàn)證，在光刻機(jī)的樣機(jī)