玻璃基微環(huán)諧振器的設(shè)計(jì)與制作.pdf

1、高密度平面光集成及與當(dāng)今IC工藝相兼容是當(dāng)前光波導(dǎo)技術(shù)發(fā)展的重要方向之一。由于微環(huán)結(jié)構(gòu)的功能多樣性、結(jié)構(gòu)緊湊性、很好的波長(zhǎng)選擇性，使其成為很有潛力的集成光路基本功能結(jié)構(gòu)。隨著平面工藝水平的不斷提高，基于平面波導(dǎo)技術(shù)的光微環(huán)諧振器逐漸受到人們的關(guān)注和研究，并得以迅速發(fā)展。微環(huán)結(jié)構(gòu)在光電子領(lǐng)域的地位就像晶體管在電子領(lǐng)域一樣，幾乎所有光電器件功能都可以使用微環(huán)實(shí)現(xiàn)。使用玻璃基離子交換工藝制作的大半徑無(wú)源環(huán)諧振器可作為慣性旋轉(zhuǎn)傳感器、波長(zhǎng)傳感器

2、、溫度傳感器、聲波傳感器和光學(xué)陀螺等，具有重要的應(yīng)用價(jià)值。 論文在綜述了微環(huán)諧振腔的應(yīng)用背景、發(fā)展歷程和研究玻璃基微環(huán)意義的基礎(chǔ)上，重點(diǎn)研究了玻璃基微環(huán)諧振器的設(shè)計(jì)與制作。根據(jù)耦合模理論分析了微環(huán)諧振器的工作原理；在設(shè)計(jì)中使用Rsoft公司的BeamProp軟件模擬來(lái)優(yōu)化器件尺寸；在工藝制作方面，結(jié)合實(shí)驗(yàn)室離子交換技術(shù)的工藝條件，主要在三方面做了探索和比較工作：實(shí)驗(yàn)中采用了不同的玻璃基底(BK7、B270、K9、Z0和Z1)；也