并行激光直寫關(guān)鍵控制技術(shù)與實驗研究.pdf

1、隨著光電子器件、平板顯示器和激光全息行業(yè)的快速發(fā)展和技術(shù)進(jìn)步，激光直寫技術(shù)已成為了一種先進(jìn)的光學(xué)加工技術(shù)，在諸多領(lǐng)域已有了廣泛應(yīng)用?？傮w來看，激光直寫系統(tǒng)的研究領(lǐng)域主要集中在集成電路制造、微光學(xué)元件加工、印刷電路板布線等。
　　 本課題設(shè)計了一種可實現(xiàn)多種工藝的并行激光直寫系統(tǒng)，不僅可以進(jìn)行簡單的點曝光，還可以實現(xiàn)逐面并行拼接曝光和直角坐標(biāo)、極坐標(biāo)矢量掃描光刻的功能。拼接曝光可實現(xiàn)高精度復(fù)雜圖形的制作，用可變形狀的光斑進(jìn)行掃描光

2、刻可實現(xiàn)具有三維槽型結(jié)構(gòu)器件的制作。
　　 本系統(tǒng)的原理是把數(shù)字微反射鏡(DigitalMicro-mirrorDevice，DMD)上的圖像經(jīng)過微縮透鏡后成像在光刻膠板上，得到一個縮小倍率的、高質(zhì)量的任意光斑圖形，配合先進(jìn)的控制系統(tǒng)和程序，實現(xiàn)逐面拼接光刻、掃描光刻的功能，具有高效率、高質(zhì)量和高精度的優(yōu)點。本論文對系統(tǒng)軟硬件設(shè)計進(jìn)行了簡單介紹，對控制部分進(jìn)行了分析研究，并通過光刻實驗驗證了其性能的優(yōu)越性。
　　 本課題