X射線運(yùn)動(dòng)學(xué)理論及其在半導(dǎo)體外延材料分析中的應(yīng)用.pdf

1、該論文在運(yùn)動(dòng)學(xué)理論中引入一定的修正策略后,將其應(yīng)用于一般材料的分析.主要工作內(nèi)容有:1.闡述了X射線運(yùn)動(dòng)學(xué)理論基本的物理思想并推導(dǎo)了它對外延材料重要 參數(shù)的分析和處理.詳細(xì)論述了應(yīng)用運(yùn)動(dòng)學(xué)理論進(jìn)行材料分析時(shí)所受到 的限制.2.基于運(yùn)動(dòng)學(xué)理論,結(jié)合外延材料的實(shí)際特點(diǎn),分析了將運(yùn)動(dòng)學(xué)理論應(yīng)用 于實(shí)際材料分析時(shí)需要著重考慮的襯底衍射、薄層效應(yīng)、儀器效應(yīng)等問 題并給出了相應(yīng)的解決方案.3.對單外延層結(jié)構(gòu)材料、量子階結(jié)構(gòu)材料、含超晶格結(jié)構(gòu)材料等,

2、分別應(yīng) 用動(dòng)力學(xué)理論和運(yùn)動(dòng)學(xué)理論作了對比分析.所得結(jié)果證實(shí)了所引入修正 策略的合理性和可行性.4. 在對以上典型材料的分析中,結(jié)合特定的材料特性,闡述了應(yīng)用運(yùn)動(dòng)學(xué) 理論分析的優(yōu)點(diǎn)并指出了仍然存在的問題,針對問題提出了改進(jìn)的方 向.我們的實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明:對于大多數(shù)結(jié)構(gòu)比較簡單的材料,在引入適當(dāng)?shù)男拚呗院?運(yùn)動(dòng)學(xué)理論能得到與測量曲線吻合更好的擬合結(jié)果;當(dāng)材料結(jié)構(gòu)過于復(fù)雜時(shí),運(yùn)動(dòng)學(xué)理論對于材料參數(shù)的靈敏度會(huì)低于動(dòng)力學(xué)理論;此外,運(yùn)動(dòng)學(xué)理論的應(yīng)