微波自動(dòng)阻抗匹配系統(tǒng)的研究.pdf

1、微波阻抗匹配是指微波信號(hào)傳輸過(guò)程中，在系統(tǒng)的終端或不同特性阻抗傳輸線的連接處不產(chǎn)生反射；它關(guān)系到系統(tǒng)的傳輸效率、功率容量與工作穩(wěn)定性，關(guān)系到微波測(cè)量的系統(tǒng)誤差和測(cè)量精度，以及微波元器件的質(zhì)量等一系列問(wèn)題。因此，匹配問(wèn)題在微波技術(shù)中極其重要，是微波系統(tǒng)中重要的一個(gè)環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)微波阻抗匹配技術(shù)很難對(duì)動(dòng)態(tài)負(fù)載呈現(xiàn)的非線性阻抗變化做到實(shí)時(shí)、快速并且穩(wěn)定的匹配，這就限制了微波系統(tǒng)在很多領(lǐng)域的應(yīng)用。
　　本文構(gòu)建了一個(gè)能為大功率微波系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)負(fù)

2、載提供匹配的自動(dòng)阻抗匹配系統(tǒng)。此系統(tǒng)可利用它全自動(dòng)化和快速的特點(diǎn)，實(shí)時(shí)的為負(fù)載尤其是動(dòng)態(tài)負(fù)載（比如：等離子體負(fù)載）提供快速，穩(wěn)定，可重復(fù)的匹配，自動(dòng)將反射系數(shù)保持到工程理想值，從而實(shí)現(xiàn)微波功率的最佳傳輸。
　　在構(gòu)建了自動(dòng)阻抗匹配系統(tǒng)的基礎(chǔ)上，本文提出了一種新的快速匹配方法；此方法是將仿真軟件HFSS和系統(tǒng)設(shè)計(jì)相結(jié)合，用HFSS仿真系統(tǒng)中完成阻抗變換作用的銷(xiāo)釘匹配器，獲得銷(xiāo)釘插入波導(dǎo)深度變化時(shí)的端口等效特性，并將仿真得到的數(shù)據(jù)用M