摩擦驅(qū)動微位移試驗平臺的設(shè)計和研究.pdf

1、微位移技術(shù)在近代尖端工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域內(nèi)占有極為重要的地位，它直接影響精密、超精密加工精度、精密測量精度及超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)水平。但是，現(xiàn)在利用微位移技術(shù)研制出的精密及超精密工作臺中，往往整體性存在缺陷，而且同時對環(huán)境的要求嚴格。本文的目的是通過對微位移平臺的支撐技術(shù)研究，結(jié)合實際需要，尋找各項性能均衡的設(shè)計方案，嘗試采用了一種利用摩擦輪驅(qū)動柔性鉸鏈的新型工作臺方案。 本文對摩擦驅(qū)動關(guān)鍵技術(shù)，如柔性鉸鏈和摩擦機理等進行了深

2、入研究。對柔性鉸鏈模型進行闡述，通過有限元分析了柔性鉸鏈模型。其次，介紹了摩擦輪傳動的類型與其應(yīng)用范圍，分析了摩擦輪理論和傳動的工作原理和驅(qū)動鉸鏈的摩擦輪。 本文在深入研究摩擦驅(qū)動理論上，擬定了該實驗平臺的結(jié)構(gòu)方案，對該系統(tǒng)的硬件設(shè)計和軟件設(shè)計進行討論，開發(fā)和設(shè)計了用于控制摩擦驅(qū)動微位移試驗平臺的控制系統(tǒng)，通過上位機控制單片機系統(tǒng)，來驅(qū)動柔性鉸鏈完成微位移動作，體現(xiàn)了較好的操作性和可靠性。 最后對微位移平臺進行了性能試驗