工程陶瓷磨削加工表面測量及評定.pdf

1、表面形貌測量及評定技術，是發(fā)展機械科學、表面科學、材料科學、生命科學以及微電子技術所必須的重要技術。本文在對國內外關于表面形貌測量及特征評定研究現(xiàn)狀與發(fā)展進行分析的基礎上，論述了作者對表面形貌特征評定理論與方法的研究成果。主要研究內容與成果如下： 建立一個表面測量分析系統(tǒng)，不僅能夠對工件表面的采樣信號進行傳統(tǒng)的二維參數(shù)計算，還能進行三維參數(shù)的計算，再結合我們對表面采樣信號所進行的其它分析，如頻譜，小波分析，分形，圖像表征等，能夠

2、較完整地描述分析加工表面的形貌。 探討了表面測量及評價中常用到的時頻域分析方法，以及先進的小波和分形方法，通過小波的分解和重構成功將原始輪廓信號中的形狀誤差，波紋度和粗糙度進行分離，并將分形理論與表面測量評定相結合，提出分形維數(shù)D是一個綜合反映表面復雜程度的參數(shù)，是評價表面特性的又一重要指標。 利用TR200粗糙度儀對金屬及陶瓷磨削加工表面進行測量，利用自行設計的表面測量分析與處理系統(tǒng)，在磨削表面測量實驗的基礎上，初步研