敏感元件燒結(jié)測控儀研制.pdf

1、燒結(jié)是敏感元件生產(chǎn)過程中的一道最基本、最關(guān)鍵的工序。燒結(jié)前的工序中敏感元件的某些缺陷在一定范圍內(nèi)可以通過調(diào)整燒結(jié)工藝加以糾正，而由燒結(jié)造成的廢品一般無法通過以后的工序來挽救，因此燒結(jié)工藝和裝備選擇是否恰當，對燒結(jié)產(chǎn)品的質(zhì)量有著決定性的影響。針對這一情況，本文根據(jù)敏感元件的工藝特性和自身特點將設(shè)計一種高性能的氣體敏感元件燒結(jié)測控儀。 本文采用恒流加熱法進行氣體敏感元件燒結(jié)測控儀的設(shè)計。本儀器的燒結(jié)電路為程控恒流源電路，該程控恒流源

2、電路由單片機定時器輸出的脈寬調(diào)制信號來控制。在整個燒結(jié)過程中燒結(jié)溫度可以逐漸增加，燒結(jié)時間可以程序控制，從而能保證氣體敏感元件的產(chǎn)品質(zhì)量。本文的主要工作有以下幾方面： 1.進行敏感元件燒結(jié)測控儀的硬件設(shè)計，包括微處理器主控模塊、敏感元件插接電路板模塊、恒流源電路模塊、脈寬調(diào)制D/A電路模塊、基準電壓源模塊以及外圍電路等硬件電路的設(shè)計。 2.進行敏感元件燒結(jié)測控儀的軟件設(shè)計，主要是在嵌入式操作系統(tǒng)μC/OS-Ⅱ的平臺下實現(xiàn)