精密激光法角度位移測量原理研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、在超精密測量和控制技術中，對測量精度提出了越來越高的要求，如尺寸精度1nm和角度1"。在測量系統(tǒng)為了獲得一個較高的精度必須分離位移和角度所產(chǎn)生的影響。在這篇文章中描述了一種新的光學系統(tǒng)來同時測量反射面的位移和角度。位移采用光學三角法來測量，角度采用光杠桿方法來測量。結果表明相對于傳統(tǒng)的光學測量方法這是一種重復性很高并且穩(wěn)定性很好的測量新方法。 在這個原理的基礎上，本文研制了一套專用高精度設備，用來自動測量陀螺中扭桿的扭轉(zhuǎn)剛度和滯

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