2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁(yè)
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1、在深入分析國(guó)內(nèi)外化學(xué)機(jī)械拋光和超聲加工技術(shù)研究現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上,針對(duì)硅片傳統(tǒng)化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)現(xiàn)狀及其存在問(wèn)題,特別是隨著硅片直徑不斷增大,硅片拋光表面質(zhì)量和拋光效率成為一個(gè)亟待解決和提高的問(wèn)題,提出了超聲橢圓振動(dòng)—化學(xué)機(jī)械復(fù)合拋光硅片新技術(shù)的研究課題。該復(fù)合拋光技術(shù)是將超聲加工和化學(xué)機(jī)械拋光加工綜合為一體的新型加工技術(shù),它在傳統(tǒng)化學(xué)機(jī)械拋光基礎(chǔ)上,將超聲橢圓振動(dòng)施加在拋光工具上,利用拋光工具產(chǎn)生的超聲橢圓振動(dòng),提高了化學(xué)機(jī)械拋光中所使用拋光

2、液的效能,達(dá)到改善拋光效果的目的。本文通過(guò)試驗(yàn)研究與理論分析相結(jié)合的方法,對(duì)復(fù)合拋光加工機(jī)理與工藝進(jìn)行了深入研究,其主要研究?jī)?nèi)容及創(chuàng)新點(diǎn)包括: 1.介紹了拋光工具超聲橢圓振動(dòng)產(chǎn)生的工作原理,推導(dǎo)了拋光工具超聲橢圓運(yùn)動(dòng)的理論模型。研制了用于硅片表面及其邊緣拋光的拋光工具,并實(shí)際測(cè)試了拋光工具的頻率-阻抗特性和橢圓運(yùn)動(dòng)特性。 2.研制了能夠?qū)崿F(xiàn)傳統(tǒng)化學(xué)機(jī)械拋光,拋光工具做超聲縱向振動(dòng)、超聲切向振動(dòng)和超聲橢圓振動(dòng)等不同振動(dòng)方式

3、的復(fù)合拋光方法的試驗(yàn)系統(tǒng)。 3.基于化學(xué)機(jī)械拋光和超聲振動(dòng)加工技術(shù),進(jìn)行了復(fù)合拋光加工機(jī)理研究。應(yīng)用接觸力學(xué)理論,建立了硅片表面與拋光墊之間的接觸力學(xué)模型。在系統(tǒng)地研究化學(xué)機(jī)械拋光中各主要輸入?yún)?shù)對(duì)加工表面質(zhì)量影響的基礎(chǔ)上,建立了簡(jiǎn)單實(shí)用的復(fù)合拋光材料去除率理論模型。對(duì)拋光工具做超聲縱向振動(dòng)、超聲切向振動(dòng)和超聲橢圓振動(dòng)等三種復(fù)合拋光方法,進(jìn)行了材料去除機(jī)理及加工表面質(zhì)量的理論研究,結(jié)果顯示拋光工具的超聲橢圓振動(dòng)更有利于硅片綜合拋

4、光效果的改善。 4.研究了一種在不破壞被加工件表面的情況下,對(duì)硅片等硬脆性材料微小去除量進(jìn)行簡(jiǎn)易、快速的測(cè)量方法。 5.進(jìn)行了拋光工具的超聲性能、拋光壓力、拋光速度、拋光液供給量和拋光墊等,對(duì)硅片表面形貌、表面粗糙度和材料去除率等拋光試驗(yàn)研究。 6.研究的超聲橢圓振動(dòng)—化學(xué)機(jī)械復(fù)合拋光方法的工藝規(guī)律表明,在相同的拋光條件下,復(fù)合拋光技術(shù)與傳統(tǒng)化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)相比,拋光表面質(zhì)量明顯提高,材料去除率有較大增加,并且引

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