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文檔簡(jiǎn)介
1、在目前的半導(dǎo)體機(jī)器制造產(chǎn)業(yè)中，半導(dǎo)體加工機(jī)器的模擬仿真系統(tǒng)是用靜止的圖片來組成的，這種狀態(tài)表示的方法產(chǎn)生的模擬效果在視覺上很生硬，跳躍性很大。因?yàn)樗鼰o法表示出晶圓從一個(gè)位置到下一個(gè)位置的中間過程，而且基本上忽視了機(jī)器人的動(dòng)作。為了克服這一缺點(diǎn)，需要用連貫的動(dòng)畫來進(jìn)行模擬仿真。
首先分析了半導(dǎo)體加工控制流程的基本特點(diǎn)，探討了在其模擬仿真系統(tǒng)中運(yùn)用三維動(dòng)畫的必要性和可行性。根據(jù)工業(yè)控制軟件結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)，我們利用面向?qū)ο蟮脑O(shè)計(jì)方法
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