半固著磨具磨損和修整技術(shù)的研究.pdf

1、磨粒加工是先進(jìn)陶瓷超精密加工的一種重要方法。但目前眾多磨粒加工方法都難以同時(shí)滿足高效、精密、低/無(wú)損傷的加工要求。浙江工業(yè)大學(xué)超精密加工研究中心提出了一種半固著磨粒加工方法，可以降低甚至消除大顆粒造成的表面損傷，實(shí)現(xiàn)高效、精密加工。本文主要針對(duì)此種方法所開(kāi)發(fā)的半固著磨具，通過(guò)試驗(yàn)和計(jì)算機(jī)仿真對(duì)其加工性能的失效形式、磨損和堵塞的影響因素、耐用度和修整技術(shù)等方面進(jìn)行了研究。 為了解半固著磨具特性，通過(guò)顯微觀測(cè)和試驗(yàn)分析對(duì)半固著磨具的

2、微觀組織、物理特性、加工特性等進(jìn)行了研究。半固著磨具的主要材料去除形式是以兩體磨損為主，結(jié)合三體磨損的一種復(fù)合材料去除形式。其邵氏硬度和彈性模量值分別在50-61和90-150Mpa之間。在相同試驗(yàn)條件下，半固著磨具的加工效率和加工質(zhì)量都高于游離磨料加工。 以單晶硅、氮化硅為加工材料，在干、濕態(tài)下進(jìn)行了研磨試驗(yàn)研究。半固著磨具加工性能的主要失效形式是結(jié)合劑破碎磨損和嵌入式堵塞，但在不同的工件材料和加工工藝下有所區(qū)別。磨具由于磨損

3、和堵塞，加工能力和加工質(zhì)量不斷下降，需要進(jìn)行修整。 通過(guò)單因素實(shí)驗(yàn)和正交實(shí)驗(yàn)對(duì)半固著磨具的磨損和堵塞的影響因素進(jìn)行了研究。分析了半固著磨具組織結(jié)構(gòu)和加工工藝的影響規(guī)律，優(yōu)化了加工工藝，建立了耐用度的度量指標(biāo)、提出了耐用度的判別方式和提高措施。 結(jié)合計(jì)算機(jī)仿真對(duì)平面研磨中半固著磨具的修整技術(shù)進(jìn)行了研究。確定了適合于半固著磨具的修整方式和修整工具，分析了修整工藝參數(shù)對(duì)加工性能的影響規(guī)律。試驗(yàn)和仿真結(jié)果表明：采用修整環(huán)型金剛石