掃描電鏡載物臺定位系統(tǒng)關鍵技術(shù)研究.pdf

1、　　本文針對掃描電鏡載物臺定位裝置結(jié)構(gòu)復雜、操作不變的缺點，設計了基于少自由度并聯(lián)機構(gòu)的掃描電鏡載物臺定位系統(tǒng)。該系統(tǒng)有兩套方案：一為手動定位機構(gòu)，主要由4-PUU和RUPRU隨動分支組成，另一個為自動定位機構(gòu)，主要由4-UPU加一電機組成。本文針對這兩種機構(gòu)進行了運動學和動力學的分析，同時介紹了這兩種機構(gòu)在微操作系統(tǒng)中的應用。　　首先，論文在分析了4-PUU和4-UPU兩種少自由度并聯(lián)機構(gòu)模型的特點及其自由度的基礎上分析了它們的運動

2、學，推導出其位置、速度、加速度正反解公式，并進行了數(shù)值驗證。同時，論文分情況討論了這兩種機構(gòu)的工作空間和奇異形位，通過編程得到機構(gòu)在定姿態(tài)下的工作空間的立體圖和截面圖?！　∑浯?，論文針對4-UPU機構(gòu)建立了動力學模型并用拉格朗日法對其進行了動力學的分析，通過編程得到了分支驅(qū)動力與動平臺位置、速度、加速度變化的關系，分析了機構(gòu)的動力學特性?！　∽詈?，論文構(gòu)建了一個基于顯微視覺的微操作系統(tǒng)，介紹了系統(tǒng)中各部分的性能以及這兩種機構(gòu)在系統(tǒng)中