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1、基于彎曲板波的拉曼型聲光移頻器的理論分析與設(shè)計(jì)⑧重慶大學(xué)碩士學(xué)位論文(學(xué)術(shù)學(xué)位)學(xué)生姓名:胡晶指導(dǎo)教師:溫志渝教授專業(yè):儀器科學(xué)與技術(shù)學(xué)科門類:工學(xué)重慶大學(xué)光電工程學(xué)院二0一二年五月重慶人學(xué)碩t學(xué)位論文中文摘要摘要論文針對一種基于聲光效應(yīng)的微型加速度傳感器的總體設(shè)計(jì)要求,開展可敏感加速度的基于彎曲板波的拉曼型聲光移頻器新結(jié)構(gòu)的模擬、設(shè)計(jì)以及加工工藝研究,具有重要的科學(xué)意義和迫切的應(yīng)用需求。論文利用聲光互作用效應(yīng),基于MEMS技術(shù),提出了
2、一種基于彎曲板波的拉曼型聲光移頻器的橋型新結(jié)構(gòu),詳細(xì)論述了該移頻器的工作原理;搭建實(shí)驗(yàn)宏模型,驗(yàn)證了其檢測原理;確定了移頻器的主要結(jié)構(gòu)參數(shù);針對所提出的移頻器新結(jié)構(gòu)建立并分析了多層板理論模型和有限元模型;完成了移頻器的加工工藝流程和光刻掩模版圖的設(shè)計(jì),進(jìn)行了移頻器原理樣機(jī)的試驗(yàn)流片,并測試了樣機(jī)的性能。主要研究工作如下:①在分析與總結(jié)聲表面波聲光移頻器國內(nèi)外研究現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上,基于MEMS技術(shù),提出了一種可敏感外界加速度的基于彎曲板波的拉
3、曼型聲光移頻器新結(jié)構(gòu),論述了該聲光移頻器的工作原理,搭建了實(shí)驗(yàn)宏模型,驗(yàn)證了其檢測原理:②針對所提出的移頻器新結(jié)構(gòu),通過MATLAB求解瑞利一蘭姆方程,研究了A。模式彎曲板波在ZnO薄膜中的頻散特性,建立并分析了移頻器的多層板理論模型,獲得了各層材料厚度與諧振頻率的關(guān)系曲線,為后續(xù)的結(jié)構(gòu)參數(shù)設(shè)計(jì)奠定了理論基礎(chǔ);③完成了移頻器主要部件,即叉指換能器和單模矩形Si基Si02光波導(dǎo)的設(shè)計(jì),確定了移頻器的主要結(jié)構(gòu)參數(shù),利用ANSYS軟件,建立了
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