三級差分抽氣分子束質(zhì)譜裝置的研制及氮、氫等離子體的分子束質(zhì)譜診斷.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該論文首先詳細(xì)地描述了分子束質(zhì)譜的設(shè)計思想及相關(guān)的運行參數(shù),然后如何將國產(chǎn)四極質(zhì)譜離子源改造成具有閾值電離功能的離化器,最后報道了用該裝置對氮、氫等離子體的實驗診斷及初步的氮等離子體中物種濃度的模擬計算結(jié)果,主要工作成果有以下幾方面:一、建立了國內(nèi)首臺用于較高氣壓活性物種診斷的分子束質(zhì)譜裝置.二、研制成功了國內(nèi)第一套具有閾值電離能力的四極質(zhì)譜離化器.三、對氫異常輝光放電阻極鞘層區(qū)中H<,n'+>(n=1-3)進行了診斷研究.四、在采用多

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