通信領(lǐng)域的微機(jī)械諧振器和濾波器研究.pdf

1、該論文的主要工作是針對目前微機(jī)械諧振器所涉及的三個問題進(jìn)行了一定的研究,并對梳狀諧振器能量轉(zhuǎn)移的線性問題進(jìn)行了討論.第一個問題是諧振器具有的高品質(zhì)因子是在真空腔體測量的結(jié)果是盡可能降低空氣阻尼影響的試驗結(jié)果,因為空氣阻尼在所有影響因素中效果最明顯,其是否存在導(dǎo)致Q值有10<'4>的變化幅度.該論文的第二個工作是提出了電容耦合微機(jī)械諧振器的原理.第三個問題是關(guān)于提高微機(jī)械諧振器頻率的問題.就目前的通信技術(shù)發(fā)展而言,單片系統(tǒng)已明顯地成為PC

2、S系統(tǒng)技術(shù)發(fā)展方向.IC制作技術(shù)使電路的功能越來越強(qiáng)大,體積越來越小,功耗越來越低,甚至為了提高其性能,許多功能都可以通過軟件來實現(xiàn).IC技術(shù)的進(jìn)步凸現(xiàn)出PCS系統(tǒng)中無源器件的不足.微細(xì)加工技術(shù)制作無源器件必然會成為發(fā)展潮流,因為它解決了無源器件和IC單片集成的問題,使得單片系統(tǒng)的實現(xiàn)指日可待.在低于吉赫茲的頻率段,利用機(jī)械結(jié)構(gòu)振動的微機(jī)械諧振器因為具有穩(wěn)定性好,功耗小,制作工藝簡單等優(yōu)點(diǎn),是相當(dāng)受重視的一個研究方向.頻率的進(jìn)一步提高必