一種新型加速度傳感器研究.pdf

1、壓阻式加速度傳感器是MEMS傳感器的一個(gè)重要分支,在儀器儀表,汽車制動啟動檢測、地震檢測、工程測振等許多領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
　　 本文對量程100g的新型低量程、高過載壓阻式加速度傳感器進(jìn)行了相關(guān)的研究,提出了一種新型的加速度傳感器芯片結(jié)構(gòu)一對角四梁芯片結(jié)構(gòu),以使加速度傳感器具有更好的靈敏度和抗過載能力。
　　 本文首先對典型的硅微加速度傳感器的工作原理和工作性能進(jìn)行了分析和比較,繼而確定了硅微加速度傳感器的類型為壓阻

2、式加速度傳感器。在比較各自優(yōu)缺點(diǎn)的基礎(chǔ)上,選擇確定了傳感器的芯片結(jié)構(gòu)為對角四梁芯片結(jié)構(gòu);并對傳感器材料的選擇進(jìn)行了類比分析,確定了以多晶硅作為傳感器敏感材料。
　　 其次,對感受外界加速度的傳感器芯片進(jìn)行了有限元靜力學(xué)分析,并對傳感器芯片的多個(gè)尺寸進(jìn)行了參數(shù)化類比仿真,探索出了最佳的芯片結(jié)構(gòu)。
　　 接著,對傳感器的靜態(tài)特性進(jìn)行了分析,對靈敏度、線性度、和重復(fù)性等靜態(tài)特性進(jìn)行了研究;對傳感器芯片制作工藝進(jìn)行了探究。