DWDM系統(tǒng)中微環(huán)結(jié)構(gòu)解復(fù)用接收器的研究.pdf

1、半導(dǎo)體微環(huán)諧振腔由于體積小、結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成等優(yōu)點(diǎn)，在光濾波、光開關(guān)、光調(diào)制、光邏輯等器件中有著廣泛的應(yīng)用前景。但是基于微環(huán)諧振腔結(jié)構(gòu)光探測(cè)器的報(bào)道還很少。環(huán)探測(cè)器具有高速、高量子效率、窄線寬、結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點(diǎn)，與垂直腔結(jié)構(gòu)的諧振腔探測(cè)器（RCE—PD）相比，無需制備布拉格反射鏡（DBR），其制作過程相對(duì)簡(jiǎn)單且易于其他波導(dǎo)器件集成。
　　 本文針對(duì)基于微環(huán)諧振腔結(jié)構(gòu)的光探測(cè)器進(jìn)行了深入的理論分析和參數(shù)設(shè)計(jì)，實(shí)驗(yàn)制備了多模波導(dǎo)的單

2、環(huán)光探測(cè)器和垂直結(jié)構(gòu)的RCE光探測(cè)器，實(shí)驗(yàn)探索單模波導(dǎo)的級(jí)聯(lián)微環(huán)光探測(cè)器。以下是本論文的主要工作：
　　 1、從理論上對(duì)微環(huán)諧振腔的參數(shù)進(jìn)行仿真和計(jì)算：通過模式耦合理論分析了環(huán)形波導(dǎo)與直波導(dǎo)的耦合系數(shù)和傳輸矩陣法計(jì)算微環(huán)諧振腔的透射譜。分析了級(jí)聯(lián)微環(huán)諧振腔的Vernie效應(yīng)及透射譜的有限尺寸效應(yīng)。在理論上提出了一種級(jí)聯(lián)微環(huán)諧振腔光探測(cè)器，該結(jié)構(gòu)的波長(zhǎng)選擇特性滿足國(guó)際電信聯(lián)盟遠(yuǎn)程通信標(biāo)準(zhǔn)化組（ITU—T）關(guān)于密集波分復(fù)用系統(tǒng)（DW

3、DM）中解復(fù)用器的標(biāo)準(zhǔn)，其響應(yīng)頻譜的—3dB，—0.5dB和-20dB帶寬分別為0.85nm，0.3nm和0.8nm，該探測(cè)器可用做DWDM光纖通信系統(tǒng)的解復(fù)用器。
　　 2、實(shí)驗(yàn)上制備圓形和跑道形微環(huán)環(huán)諧振腔，其中微環(huán)波導(dǎo)部分是多模波導(dǎo)，寬度為3μm。測(cè)試了兩種諧振腔結(jié)構(gòu)的透射譜。與葉顯博士合作，用GaAs/InP異質(zhì)外延技術(shù)制備了垂直腔結(jié)構(gòu)的諧振腔探測(cè)器，測(cè)試了暗電流和高頻響應(yīng)特性
　　 3、在實(shí)驗(yàn)上探索級(jí)聯(lián)微環(huán)諧振