微振動主動阻尼控制技術(shù)的研究.pdf

1、隨著高新技術(shù)的快速發(fā)展,精密儀器設(shè)備、超微細(xì)加工與測試所占的比例越來越高,這對微振動的控制提出了更高的要求.開展微振動控制技術(shù)的研究,對高技術(shù)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展以及國防建設(shè)都具有重要的理論意義和實(shí)用價值.本文基于以空氣彈簧作為彈性支承的被動隔振臺座,提出一套包括數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)、計算機(jī)控制系統(tǒng)以及電磁作動系統(tǒng)三大部分的主動控制概念,以滿足即使在振動量級極其微小的情況下,也能實(shí)時產(chǎn)生足夠的阻尼力,提高微振動控制水平.首先,針對微振動特性,提出一套

2、包括振動參數(shù)采集、放大、濾波、A/D(D/A)轉(zhuǎn)換、FFT變換的數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng),將振動參數(shù)轉(zhuǎn)變?yōu)楸阌谟嬎銠C(jī)控制系統(tǒng)識別和處理的數(shù)據(jù),為實(shí)現(xiàn)微振動的主動控制提供了前提.其次,建立了隔振臺座系統(tǒng)(包括主動作動力),在笛卡爾坐標(biāo)系中六個自由度的數(shù)學(xué)模型,并根據(jù)實(shí)際工程的需要,進(jìn)行了合理簡化,進(jìn)而根據(jù)數(shù)學(xué)模型建立了空間狀態(tài)方程,為控制系統(tǒng)的設(shè)計奠定了基礎(chǔ).再次,對計算機(jī)控制系統(tǒng)的硬件和軟件系統(tǒng)進(jìn)行了探討,在考慮時滯的離散狀態(tài)空間中,設(shè)計了控制