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文檔簡介
1、東南大學碩士學位論文材料表面污染物的實驗分析研究姓名：張付存申請學位級別：碩士專業(yè)：電子科學與技術；物理電子學指導教師：肖梅20120529AbstractAbstractUnderthecertainconditionscontaminantswouldrelease丹omthematerialsurfaceThesecontaminantsmayresultfromgasmoleculeinteractwithsolidsurfac
2、eresidueinthedevicemanufacturingandcleaningtechnologyofresidualandmaterialitselfThesecontaminantsmayaffecttheperformanceofvacuumdevicewhendepositedonthesurfaceofmaterialsinvacuumsystemThereforeitWasnecessarytoanalyzethes
3、ourceandcompositionofcontaminantsThisthesisintroducedandcontrastedseveralsurfacecontaminantsanalysistechnologyThesourceandcompositionofthevacuumsurfacecontaminantswereanalyzedbyusingdesorptioncoronabeamionizationTheimpac
4、tofenvironmentalconditionssuchas1ightandvacuumonsurfacecontaminantswasdiscussedAccordingtothecharacteristicsofthevacuumsurfacecontaminantswedesignedathermaldesorptiondeviceandusedittodosomeexperimentsInthispaper，wire，flu
5、orinerubbersealsandmolecularpumpoilusedinthevacuumenvironmentwereanalyzedinthesingle—tubeanalysismethodSpectraofthereleasedcontaminantswereobtainedInthestudyoftheentirevacuumsystemcontaminantsthesourceandcompositionofcon
6、taminantsinvacuumsystemcouldbespeculatedbycontrastingwiththeresultsofsingletubeanalysisAccordingtotheresultsoflightingexperiments，lightinghadasignificanteffecttothecompositionofsurfacecontaminantsTheamountofcontaminantsc
7、ollectedinhighvacuumconditionswasmuchmorethantheamountcollectedinthelOWvacuumconditionsThethermaldesorptiondevicewasdesignedtodoexperimentonmolecularpumpoilAccordingtotheresults，someguidingopinionswereproposedforimprovin
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