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文檔簡介
1、單片微波集成電路(MMIC)具有尺寸小、重量輕、可靠性高、生產(chǎn)重復性好等優(yōu)點。作為相控陣雷達發(fā)射/接收(T/R)組件的重要組成部分,數(shù)字式移相器也已經(jīng)不斷向著以GaAs工藝為基礎的MMIC數(shù)字式移相器的方向發(fā)展。 本文首先概述了MMIC的發(fā)展概況,MMIC移相器的應用和發(fā)展。其次對各種移相器進行了理論上的分析和探討,介紹了各種移相器的原理和設計。然后對用于單片微波集成電路的無源器件和有源器件進行了分析,介紹了其各種等效模型。對各
2、MMIC foundry進行了調(diào)研,并最終選擇了WIN—foundry的PL15-10工藝線。首先用ADS仿真了WIN—PL15—10中pHEMT的開關特性,然后對各個移相位設計合適的移相網(wǎng)絡設計了X波段MMIC六位數(shù)字移相器,六位都采用集總元件設計,小相位采用單管并聯(lián)移相網(wǎng)絡結構和單T型結構,大相位采用單T型結構串聯(lián)結構和高低通濾波器結構進行設計仿真。并根據(jù)相關設計規(guī)則完成版圖設計。該移相器工作頻率在7~11GHz,64個移相態(tài)均方根
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