半導(dǎo)體三極管靜電放電電磁脈沖效應(yīng)實驗研究.pdf

1、隨著微電子技術(shù)的迅速發(fā)展，微電子器件體積越來越小，工藝越來越精細(xì)，集成度越來越高，導(dǎo)致微電子器件對各種電磁能量也越來越敏感。在電磁環(huán)境日益復(fù)雜的今天，提高各類微電子器件的抗電磁能力迫在眉睫。靜電放電作為一種常見的近場危害源，放電過程中可形成高電壓、強電場、瞬時大電流，并伴有強電磁輻射形成的電磁脈沖，對各種微電子系統(tǒng)危害極大。研究靜電放電對半導(dǎo)體三極管的干擾與損傷可以為今后研究其它電磁脈沖源(如雷電、射頻輻射、高功率微波、核電磁輻射等)對

2、微電子系統(tǒng)的影響打下良好的基礎(chǔ)，具有十分重要的意義。本文分析了國內(nèi)外靜電放電電磁脈沖效應(yīng)研究的狀況及發(fā)展趨勢、靜電放電電磁脈沖特性、靜電放電模型和靜電放電模擬方法，重點對3DG218和2SC3358兩種硅微波低噪聲三極管進行了靜電放電電磁脈沖效應(yīng)實驗，得到了一些初步的結(jié)論。 (1)實驗結(jié)果表明，三極管對靜電放電電磁脈沖最敏感的部位是集電結(jié)，最靈敏參數(shù)是發(fā)射結(jié)反向截止電流IEBo和集電極-發(fā)射極反向擊穿電壓VBRCEo，次靈敏參數(shù)

3、是共發(fā)射極直流電流放大倍數(shù)hFE； (2)實驗發(fā)現(xiàn)，小電壓(0.5V)下的發(fā)射結(jié)反向截止電流IEBo在三極管損傷或失效前出現(xiàn)突然增大的現(xiàn)象，失效前小電流下的放大倍數(shù)hFE有時會迅速減小，很可能說明三極管出現(xiàn)潛在性的損傷； (3)反向電壓超過擊穿電壓前只有很小的電流流過，在擊穿時，電流因熱點聚集和電流集中導(dǎo)致pn結(jié)發(fā)熱，電阻減小，電流迅速增大，pn結(jié)形成熔融通道導(dǎo)致毀壞，說明此類三極管的損傷機理屬于熱二次擊穿； (