原子力顯微鏡碳納米管探針的制備工藝研究.pdf

1、20世紀(jì)80年代末期，誕生了研究電子、原子和分子運(yùn)動(dòng)規(guī)律的納米科學(xué)技術(shù)，從此之后，人們便將直接操縱排列原子和分子作為最終目標(biāo)。為觀察物質(zhì)的微觀狀態(tài)，研制出了許多觀測(cè)手段，其中應(yīng)用最廣泛的就是掃描探針顯微鏡(SPM)，其中，原子力顯微鏡(AFM)又是所有掃描探針顯微鏡中很常用，也非常方便應(yīng)用的一種，原子力顯微鏡可以分辨出原子級(jí)別的微觀形貌，成為納米技術(shù)中的重要研究手段。原予力顯微鏡的探針是其最核心的部件之一，對(duì)成像性能起決定作用。在納米材

2、料中，碳納米管是一種具有特殊結(jié)構(gòu)和突出物理化學(xué)性能的新型材料，具有廣泛的應(yīng)用前景。而將碳納米管和原子力顯微鏡結(jié)合起來(lái)，制備出碳納米管原子力顯微鏡探針則極大地提高了原子力顯微鏡的成像性能。
　　 在本文中通過(guò)一系列實(shí)驗(yàn)，利用聚焦離子束(FIB)雙束系統(tǒng)制備出了碳納米管探針。首先研究了電化學(xué)腐蝕法制備鎢針尖的工藝特點(diǎn)，通過(guò)數(shù)據(jù)分別研究了電源電壓、鎢絲角度、電解液濃度等參數(shù)與加工結(jié)果的相互關(guān)系，加工出的鎢針尖會(huì)在制備納米管探針的過(guò)程中