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文檔簡介
1、與傳統(tǒng)的離焦法測頭相比,論文研究的動態(tài)主動調焦法測量系統(tǒng)具有高的測量精度,大的測量范圍和好的動態(tài)特性.更重要的是它可以測量具有強反射表面的高精度金屬件和光學件,解決了形貌檢測領域的一個難題.另外,它還可以應用于一些具有高精度要求的自由曲面測量.偏光干涉測量是一種新型的運用了晶體光學原理的物體形貌檢測方法,同三角法相比,它具有較高的測量精度,相當?shù)臏y量范圍和工作距離.研究的主要內(nèi)容為:解決高精度強反射表面測量中存在的問題和研究新型非接觸檢
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