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1、該文通過(guò)不同的方法(TEM、AFM、SEM、XRD、EDX)研究了用離子束輔助沉積的方法制備的摻Er光波導(dǎo)Al<,2>O<,3>(和摻Er<,2>O<,3>-Al<,2>O<,3>、不摻Er-Al<,2>O<,3>)薄膜的微觀結(jié)構(gòu)、表面形貌、退火特性、成分以及力學(xué)性能等,試圖對(duì)Al<,2>O<,3>薄膜從不同方面作以評(píng)價(jià),為改進(jìn)制備光波導(dǎo)鍍膜方法提供重要的信息.EDX的結(jié)果顯示作者們得到了Er含量在1％左右的光波導(dǎo)薄膜.通過(guò)透射電鏡的觀
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