2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
已閱讀1頁,還剩55頁未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、本課題設(shè)定的目標(biāo)是在硅基底上設(shè)計制作具有大深寬比三角形排列的二維光子晶體孔陣結(jié)構(gòu)作為優(yōu)質(zhì)濾波器來達(dá)到光濾波的目的,這種濾波器的光反射率幾乎達(dá)到100%。這個結(jié)構(gòu)具有特別的光學(xué)特性可以對入射光的反射和透射行為進(jìn)行控制,我們經(jīng)過實(shí)驗(yàn)嘗試得到了制造符合要求的光子晶體尺寸參數(shù)。
  本文總結(jié)了光子晶體結(jié)構(gòu)參數(shù)對光濾波范圍的影響規(guī)律,仿真得到激光干涉光束各參數(shù)對光子晶體結(jié)構(gòu)的影響規(guī)律,并得到在可見光波段控制濾波的二維三角形光子晶體的尺寸。設(shè)

2、計了三光束干涉光刻光路制造這個結(jié)構(gòu),并利用雙光束干涉光刻制造線條紋在光刻膠上制作具有功能的線缺陷,之后利用化學(xué)方法刻蝕這個光刻膠以制造大深寬比的光子晶體結(jié)構(gòu)。
  仿真驗(yàn)證了通過改變干涉光束入射角來改變光子晶體結(jié)構(gòu)填充率的方法。并嘗試?yán)秒p光束干涉在光子晶體中引入線缺陷。在實(shí)驗(yàn)中得到三角形光子晶體的晶格常數(shù)為1.07μm,介質(zhì)柱半徑為388nm,背景為空氣,介質(zhì)柱為硅柱,入射光為420nm波長的激光光束,根據(jù)仿真證實(shí)三光束干涉光刻

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論