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文檔簡介
1、為了實現(xiàn)對微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)中微結(jié)構(gòu)動態(tài)特性的高精度快速可視化測量,本學(xué)位論文在國家"863"計劃MEMS專項課題"MEMS動態(tài)特性頻閃干涉視覺三維測量技術(shù)及系統(tǒng)"(課題編號:2002AA404100)的資助下,對MEMS三維動態(tài)測試系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)處理技術(shù)進(jìn)行了較深入的研究.論文研究了多種圖像降噪方法,提出了一種能有效克服包裹相位圖中2π跳變影響的旋濾波算法.在分析了普通濾波、旋濾波和SUSAN濾波的基礎(chǔ)上,得出三種實用的干涉圖降噪方
2、案.通過對模板匹配及其相關(guān)技術(shù)的分析,提出了一種融合了基于立方插值的亞像素步長相關(guān)算法、序慣相似性檢測算法(SSDA)、曲面擬合法和單純形法的高速高精匹配定位方法,并將其應(yīng)用于MEMS面內(nèi)運動測量.該方法使MEMS面內(nèi)運動測量的精度達(dá)到1/50像素.介紹了多種典型的相位去包裹算法,通過實驗驗證了分割線法和質(zhì)量導(dǎo)向圖法的有效性.分析了組間去包裹的必要性,對基于品質(zhì)圖的種子點選取方法進(jìn)行了有效改進(jìn)以避免"壞點"被選為種子點.結(jié)合相位去包裹技
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