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1、低溫等離子體在工業(yè)上的應(yīng)用具有十分廣闊的前景.目前,研究較多的是在大氣壓下以介質(zhì)阻擋電暈放電產(chǎn)生離子體.而介質(zhì)阻擋放電產(chǎn)生等離子體的效果直接與電源的電壓、頻率和波形相關(guān).電壓、頻率越高、放電效果越好.根據(jù)這個(gè)特點(diǎn),我們研制了一種高頻、高壓的大功率逆變電源,參數(shù)如下:(1)三相交流輸入;(2)輸出正弦波;(3)輸出頻率:5~25kHz,可調(diào);(4)輸出電壓5~20kV,可調(diào).本設(shè)計(jì)采用380v交流輸入,經(jīng)三相整流成直流后,通過直流斬波調(diào)壓
2、,再通過IGBT逆變?yōu)榻涣?最后通過電感濾波、高頻變壓器升壓來實(shí)現(xiàn)輸出為高頻高壓的正弦波.輸出電壓的大小和頻率通過單片機(jī)80C196及SG3525控制IGBT的開斷來實(shí)現(xiàn).本文對(duì)這種高頻、高壓電源的研制原理給予了詳細(xì)介紹;對(duì)電源的整流電路、斬波電路、逆變電路、驅(qū)動(dòng)及保護(hù)電路等進(jìn)行了分析;給出了變壓器的設(shè)計(jì)及繞制方法;給出了軟件設(shè)計(jì)的流程圖及部分程序;最后給出了電源調(diào)試的試驗(yàn)波形并進(jìn)行了分析.該電源研制結(jié)束后,經(jīng)測(cè)試,電源達(dá)到了預(yù)期的指標(biāo)
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