大口徑快速拋光機(jī)設(shè)計與相關(guān)問題研究.pdf

1、大口徑平面光學(xué)元件在空間光學(xué)、航空航天、激光聚變等諸多高技術(shù)領(lǐng)域的需求數(shù)量越來越多，大口徑平面光學(xué)元件的超精密加工技術(shù)已成為當(dāng)代科技前沿的關(guān)鍵支撐技術(shù)之一。本文針對大口徑平面光學(xué)元件的高效、高精拋光需求，對大口徑平面光學(xué)元件快速拋光機(jī)進(jìn)行了研制。快速拋光技術(shù)正處于發(fā)展之中，屬于新型拋光技術(shù)之一，該項技術(shù)的成熟發(fā)展，將為高檔光學(xué)、精密機(jī)械提供一種新的高效、高精度、低成本的數(shù)字化加工技術(shù)手段。
　　本文在分析光學(xué)玻璃的拋光機(jī)理、拋光工

2、藝關(guān)鍵因素以及聚氨酯拋光特點(diǎn)的基礎(chǔ)上，建立了平面元件的拋光模型；分析了光學(xué)薄板元件的裝夾特點(diǎn)，對光學(xué)薄板元件拋光裝夾方案進(jìn)行了設(shè)計；根據(jù)多區(qū)域壓力調(diào)節(jié)原理，提出了一種通過對局部高面形區(qū)域進(jìn)行加壓來提高該區(qū)域材料去除效率和拋光面形精度的方法。
　　本文研究了三種拋光機(jī)布局方案，經(jīng)過分析論證，采用了立墻式結(jié)構(gòu)，拋光頭采用直線往復(fù)運(yùn)動形式。根據(jù)機(jī)床設(shè)計技術(shù)指標(biāo)，對大口徑快速拋光機(jī)進(jìn)行了總體設(shè)計，對機(jī)床零部件進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計，保證所設(shè)計的拋