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1、涂覆機(jī)是PDP生產(chǎn)線(xiàn)中的關(guān)鍵設(shè)備,該設(shè)備主要負(fù)責(zé)PDP面板上的多種膜的生成。本論文主要負(fù)責(zé)涂覆機(jī)中涂覆噴頭的支撐架-拱架的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和分析。該結(jié)構(gòu)有兩個(gè)自由度:由直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)拱架整體做水平運(yùn)動(dòng);由旋轉(zhuǎn)伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)噴頭做上下運(yùn)動(dòng)。拱架結(jié)構(gòu)由氣浮軸承支撐,懸浮于大理石基座上。拱架內(nèi)部裝有絲杠和導(dǎo)軌來(lái)保證豎直方向的定位精度和剛度。無(wú)論水平還是豎直運(yùn)動(dòng),都有較高的精度要求,需要加裝光柵尺對(duì)其位移進(jìn)行檢測(cè),與控制系統(tǒng)形成全閉環(huán)控制系統(tǒng)。由于噴頭定位
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