考慮漏電容的平板式微執(zhí)行器Pull-in機(jī)理分析.pdf

1、基于MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）技術(shù)的微傳感器、微執(zhí)行器得到了快速發(fā)展，在其各種驅(qū)動方式中，靜電驅(qū)動占有重要地位。Pull-in 現(xiàn)象是靜電驅(qū)動的微執(zhí)行器的一個重要現(xiàn)象，已經(jīng)引起了廣泛的重視和研究。Pull-in 現(xiàn)象有利有弊，只要確定了Pull-in 點(diǎn)的位置就可以靈活運(yùn)用。所以，不管是在理論研究，還是在實(shí)際應(yīng)用方面，獲得精確的Pull-in 點(diǎn)的相關(guān)數(shù)據(jù)都是非常必要的。
　　 在本文中，概述了微機(jī)電系統(tǒng)的發(fā)展現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢，介紹了

2、微機(jī)電系統(tǒng)的制作工藝和國內(nèi)外關(guān)于微執(zhí)行器的研究現(xiàn)狀，以及簡單闡述了微執(zhí)行器的Pull-in 現(xiàn)象和機(jī)理。通過分析在忽略邊緣電場效應(yīng)的情況下的平行板微執(zhí)行器的Pull-in 現(xiàn)象，詳細(xì)分析了平行板微執(zhí)行器的Pull-in 現(xiàn)象，得出相關(guān)的數(shù)據(jù)。并且介紹了平行板微執(zhí)行器的邊緣電場效應(yīng)，分析了邊緣電場效應(yīng)產(chǎn)生的機(jī)理，通過理論分析，詳細(xì)研究了平行板電容器的邊緣電場效應(yīng)。
　　 本文分析了考慮邊緣電場效應(yīng)的三種理論模型，重點(diǎn)研究了在考慮邊