硬質(zhì)合金上MPCVD法沉積金石薄膜的研究.pdf_第1頁
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1、武漢理工大學(xué)碩士學(xué)位論文硬質(zhì)合金上MPCVD法沉積金石薄膜的研究姓名：周健申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：材料學(xué)指導(dǎo)教師：李力2001.5.1AbstractTheresearchintroducedadomesticmicrowaveplasmachemicalvapordeposition(MPCVD)equipmentwithaquartzglasswindowandwater—cooledstainlesssteelreactionch

2、amberin2450MHz／5KwThemachineriesandfunctionofthesub—systems，includingmicrowavesystem，gasroutesystem，vacuumsystemdetectingsystem，andsafeguardsystem，werealsodiscussedEffectsofmethaneconcentration，depositionpressure，gasflow

3、rateandsubstratetelnperatureondiamondcoatingonWC—CotoolsbyMPCVDwerestudiedsystemicallyThebestparameterswereestablishedbyexperimentsOneoftheimportantapplicationsofdiamondcoatingsisascuttingtoolsfornon—metals，nonferrousmet

4、alsandalloysHoweveritexhibitsverypooradhesionwhenMPCVDdiamonddepositeduponWC—CodirectlySeliabletoolperformanceisdifficulttoobtainfortheproblemofcoatingadhesionFactorcontributingtothisproblemisthatthemetalcobaltusedasthec

5、ementingphaseeasilycausesdiffusionanddissolutionofcarbon，promotesgraphitegrowthandinhibitsdiamondnucleationandgrowthinthecourseofcompetitivegrowthbetweendiamondandgraphiticcarbonInthiswork，cementedcarbide(WC—Co)wasusedas

6、akindofdepositionalsubstrateanddiamondwasdepositeduponitinanMPCVDequipmentThecommonmethodusedbydomesticandforeignscientistsisremovingthecobaltfromthesurfaceofthesubstratebyetchingsubstrateusingthinacidsolutionatroomtempe

7、ratureButtheinternalCowillstilloverflowduringMPCVDInordertesolvethisproblem，thesubstrateafterchemicaletchingwasdroppingintothickacidatlowtemperaturetosealthecobaltbyformingsteadycompoundAfterchemicalpretreatment，thesurfa

8、ceofthesubstratewasroughenedwithlotsoftinygroovesandfineholesAllofthemcontributetodiamondnucleationandcoatingadhesionMeanwhile，ultrasonicscratchingpretreatmentwasalsoappliedbyusingdiamondpowdertoenhancediamondnucleationT

9、hediamondcoatingwascharacterizedbyXraydiffraction(XRD)，scanningelectronmicroscopy(SEM)andlaserRamanspectra(Raman)Theexperimentalresultsshowthatthesuitableandsimplesubstratepretreatmentcaneffectivelycontroltheoverflowofco

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