用于光電產品檢測平臺的并-混聯(lián)機構的設計與分析.pdf

1、本文在綜述國內外光電產品檢測裝備的基礎上,首先提出了適合于各類光電產品的初、中、高級三種檢測方法及其對機構設計的要求,并以兩類規(guī)格(1m×1m、2m×1m)的檢測組件為例,對高級檢測方法進行了詳細的檢測方案設計,并獲得了相應的兩種優(yōu)選方案;接著,進行了機構概念設計,提出了系列可應用于各類光電產品檢測方法的2~6-dof并/混聯(lián)運動平臺機構共13種,其中,應用于初級檢測的機構3種,中級檢測的機構2種,高級檢測的機構8種,并進行了結構分析;

2、第三,詳細分析了兩種可應用于初級檢測方法的3-dof平面型光電產品檢測平臺機構的運動學,包括運動學正逆解求解、可達工作空間分析、誤差建模與仿真;第四,推導出3-dof(X-Y-θ)子工作臺、伸縮桿式和滑塊式3-dof并聯(lián)子平臺三種機構的驅動源尺寸參數(shù)計算公式與方法,并分別對兩種6-dof光電產品檢測平臺的極限位置進行了分析和計算,用Matlab計算得到了兩個具體規(guī)格檢測件的各驅動源尺寸;其次,推導了伸縮桿式、滑塊式6-dof光電產品檢測

3、平臺機構的運動學方程,并對其進行了運動學仿真;然后,以滑塊式6-dof光電產品檢測平臺機構的運動學正解模型為基礎,依據(jù)矩陣全微分理論,導出機構位姿誤差與結構誤差、輸入誤差之間的關系,建立了該種6-dof平臺的誤差模型,仿真分析了結構誤差、輸入誤差對機構精度的影響;最后,采用Solidworks三維軟件建立滑塊式6-dof光電產品檢測平臺機構的三維實體模型,并運用Ansys有限元分析軟件進行了靜剛度分析,得到了機構在外力作用下兩種不同姿態(tài)