基于波前相差檢測的193nm激光單脈沖能量測量方法的研究.pdf

1、激光在我國農(nóng)業(yè)、工業(yè)、國防等領(lǐng)域內(nèi)有著非常重要的作用。隨著激光技術(shù)的飛速發(fā)展，對激光能量測量精度的要求也越來越嚴(yán)格。我國目前準(zhǔn)備研制的193nm光刻系統(tǒng)中對于其工作線寬要求實現(xiàn)90nm以下，對于其檢測儀器就提出了更高的要求，尤其是在對光源的能量檢測上尤為重要。
　　本文通過對目前國內(nèi)外激光能量測量、波形測量以及相位探測方法等進(jìn)行了分析比對，指出了它們的優(yōu)缺點。針對193nm激光能量測量提出了一種基于波前相差檢測的精確測量方法，通過

2、大量的理論分析與研究，驗證了該方法的可行性，并且同時指出了利用本方法進(jìn)行測量時的影響最終能量測量的誤差因素。
　　本論文的主要工作主要包括:通過對相關(guān)文獻(xiàn)的查閱，總結(jié)了目前單脈沖能量測量的方法，并且對其進(jìn)行了比對分析，指出通過傳統(tǒng)的能量測量方法是不能夠達(dá)到精確測量193nm激光單脈沖能量，因此需要探索一種高精度測量激光脈沖能量的方法，也就是本文提出的基于波前相差檢測的方法進(jìn)行激光脈沖能量的測量。與此同時，本人積極的與相關(guān)公司技術(shù)人