雙頻及寬頻吸波器的設(shè)計(jì)與制備.pdf

1、超材料是一種人工材料，具有很多自然界中材料所不具有的性能。超材料在很多方面都有潛在的應(yīng)用，其中，超材料吸波器是一個(gè)很重要的應(yīng)用。過(guò)去的幾年，由于生物傳感和醫(yī)學(xué)檢測(cè)等的需要，人們提出多種紅外超材料吸波器結(jié)構(gòu)并進(jìn)行了制備。截至目前，對(duì)吸波器的制備，大部分采用電子束光刻，其制備成本高，不適合大尺寸制備，限制了其實(shí)際應(yīng)用。因此，制備大尺寸吸波器是其獲得應(yīng)用的關(guān)鍵。本文設(shè)計(jì)了一種偏振不敏感、寬角度吸收的雙頻結(jié)構(gòu)吸波器。利用普通光學(xué)光刻對(duì)其進(jìn)行了制

2、備，樣品達(dá)到晶元尺寸，有效地降低了制備成本。本文同時(shí)也設(shè)計(jì)了一種偏振不敏感、寬角度吸收的寬頻吸波器，其在特定波段內(nèi)實(shí)現(xiàn)超過(guò)90％的吸收率。
　　對(duì)于雙頻結(jié)構(gòu)吸波器，運(yùn)用電磁仿真軟件COMSOL設(shè)計(jì)了金屬-介質(zhì)-金屬結(jié)構(gòu)的吸波器，模擬了尺寸參數(shù)對(duì)結(jié)構(gòu)吸波性能的影響。根據(jù)模擬結(jié)果進(jìn)行了結(jié)構(gòu)尺寸的優(yōu)化，獲得最終的吸波器結(jié)構(gòu)。隨后，利用電子束蒸鍍、光學(xué)光刻、刻蝕和剝離等微納制備技術(shù)對(duì)雙頻結(jié)構(gòu)吸波器進(jìn)行了制備。最后利用改造后的傅里葉紅外光譜