離軸非球面反射鏡檢測方法的研究.pdf

1、聲明本學(xué)位論文是我在導(dǎo)師的指導(dǎo)下取得的研究成果，盡我所知，在本學(xué)位論文中，除了加以標(biāo)注和致謝的部分外，不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或公布過的研究成果，也不包含我為獲得任何教育機(jī)構(gòu)的學(xué)位或?qū)W歷而使用過的材料。與我一同工作的同事對本學(xué)位論文做出的貢獻(xiàn)均已在論文中作了明確的說明。研究生簽名：凹吲月哆日學(xué)位論文使用授權(quán)聲明南京理工大學(xué)有權(quán)保存本學(xué)位論文的電子和紙質(zhì)文檔，可以借閱或上網(wǎng)公布本學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容，可以向有關(guān)部門或機(jī)構(gòu)送交并授權(quán)其保存、

2、借閱或上網(wǎng)公布本學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容。對于保密論文，按保密的有關(guān)規(guī)定和程序處理。研究生簽名：勘，碑3月鄉(xiāng)Et碩士論文離軸非球面反射鏡檢測方法的研究摘要隨著非球面的廣泛應(yīng)用，非球面的檢測也顯得尤為重要。本文針對多種類型的非球面鏡開展其檢測方法的研究，如離軸凸拋物面，離軸凹拋物面，離軸凸雙曲面，離軸凹雙曲面，離軸凸橢球面，離軸凹橢球面。主要通過無像差點(diǎn)檢驗(yàn)和補(bǔ)償法檢驗(yàn)對不同的類型的非球面的檢測方法進(jìn)行研究，并使檢測方案滿足目前采用的ZY

3、GO干涉檢測或4D干涉檢測。以口徑為驢220ram，離軸量為225mm的離軸凸雙曲面反射鏡為例，介紹了雙曲面鏡的幾種檢測方案，根據(jù)實(shí)際情況，選用離軸Hindle球檢驗(yàn)方案?；谌壪癫钤硪约胺乔蛎娴奶匦?，計(jì)算及推導(dǎo)離軸非球面檢測光學(xué)系統(tǒng)的初始解，利用Zemax光學(xué)設(shè)計(jì)軟件進(jìn)行優(yōu)化，給出設(shè)計(jì)的最終結(jié)果，搭建檢測光路，并將這些設(shè)計(jì)參數(shù)應(yīng)用于實(shí)際的鏡面加工中，使用基于動(dòng)態(tài)的4D干涉儀進(jìn)行檢測；得出干涉圖，經(jīng)過誤差分析保證檢測光路的測量誤差在