鐵氧體耐高溫磁控濺射金屬化膜系及產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵問題的研究.pdf

1、隨著信息通信產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，電子元器件呈現(xiàn)微型化、環(huán)保綠色的發(fā)展趨勢。鐵氧體片式電感作為難以集成化的電子元件，其表面金屬化工藝過去一直采用著手工涂刷—高溫燒結(jié)銀漿—電鍍的落后工藝，不僅效率低下，生產(chǎn)成本高，生產(chǎn)過程存在嚴重污染，而且其金屬化電極層也難以經(jīng)受無鉛焊料的高溫熔蝕。本文從理論到生產(chǎn)實踐，系統(tǒng)地研究了鐵氧體陶瓷表面金屬化技術(shù)，并進行了產(chǎn)業(yè)化的研究，成功實現(xiàn)了鐵氧體磁芯磁控濺射金屬化的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。
　　論文的主要研究成果如下

2、:
　　1.采用磁控濺射沉積方法實驗制備了大量鐵氧體金屬化的樣品，優(yōu)化了濺射參數(shù)，并對其進行了詳細的分析表征;深入研究了420℃高溫下，無鉛焊料與金屬化薄膜之間的反應與熔蝕過程，系統(tǒng)研究了生成金屬間化合物的形貌特性、不同材料對耐焊性的影響等，并根據(jù)此研究結(jié)果選擇了Ni-7％wt.V作為阻擋層材料。相關(guān)研究成果已發(fā)表在JournalofElectronicMaterials等期刊上，具有較大的學術(shù)價值與實際應用價值，為本課題后續(xù)產(chǎn)業(yè)

3、化的成功提供了理論基礎(chǔ)。
　　2.從表面物理學、金相學和薄膜生長理論出發(fā)，深入研究了電極層與鐵氧體之界面反應機制，研究結(jié)果表明:選用Cr、Ni等活性金屬作為過渡層電極，能在鐵氧體界面生成了電極材料的氧化物，該層金屬氧化物能大幅提高電極與鐵氧體的結(jié)合力。
　　3.鐵氧體磁芯越來越微型化，難以采用掩模技術(shù)來制造微型片式電感，針對這一必然發(fā)展趨勢，采用并實現(xiàn)了全覆蓋鍍膜后采用激光光刻技術(shù)來制造微型片式電感的工藝方法，提高了金屬化的