雙光子加工微細(xì)器件的光學(xué)驅(qū)動研究.pdf

1、　　 本文利用聚焦激光束可以實(shí)現(xiàn)對微型機(jī)械器件的光學(xué)捕獲和操縱，為微型機(jī)電系統(tǒng)提供了一種新型的驅(qū)動方式，該技術(shù)具有無機(jī)械接觸、無需導(dǎo)線、摩擦小等優(yōu)點(diǎn)，在MEMS研究領(lǐng)域受到越來越廣泛的重視。本文結(jié)合國家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目(No.50335050)的主要研究內(nèi)容，研制了光學(xué)驅(qū)動實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，利用雙光子聚合工藝加工出微型轉(zhuǎn)子，并主要對轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和加工、光學(xué)驅(qū)動實(shí)驗(yàn)和微型轉(zhuǎn)子的光學(xué)驅(qū)動力矩的理論建模和計(jì)算等問題進(jìn)行了研究。本文的主要成果

2、如下：首先，自行組建了單光束光阱激光光學(xué)驅(qū)動系統(tǒng)，并和飛秒激光三維微加工系統(tǒng)進(jìn)行集成，實(shí)驗(yàn)表明系統(tǒng)工作良好?！　?其次，利用已建立的激光三維微加工系統(tǒng)，采用一種新型的丙烯酸酯紫外光固化樹脂，制作出了適合光學(xué)驅(qū)動的微型轉(zhuǎn)子。對加工參數(shù)和驅(qū)動參數(shù)以及轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等問題進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究，并利用單光束光阱取得了微型轉(zhuǎn)子的光驅(qū)動初步實(shí)驗(yàn)結(jié)果?！　　　?最后，對三維光學(xué)微驅(qū)動的技術(shù)發(fā)展方向進(jìn)行了探討，并對適合于光學(xué)驅(qū)動的微型