新型低插損高穩(wěn)定性SAWF仿真軟件的研制.pdf

1、SAWF（聲表面波濾波器）作為現(xiàn)代軍民用電子信號濾波處理的關(guān)鍵元器件，其設(shè)計涉及現(xiàn)代超聲學(xué)、無線電學(xué)、晶體科學(xué)、微電子學(xué)、薄膜科學(xué)、專用設(shè)備制造學(xué)等多學(xué)科知識。其精確理論分析是從基本波動方程和實際邊界條件出發(fā)，求系統(tǒng)場的精確解，過程非常復(fù)雜，使器件設(shè)計更加繁雜艱辛。
　　為此，本課題研究采用離散數(shù)字付氏變換和奇偶分解技術(shù)以及積木式組合技術(shù)，利用設(shè)計程序就可得到制版數(shù)據(jù)和掩膜版圖的仿真軟件。使用該軟件，通過輸入濾波器參數(shù)，可模擬出相

2、應(yīng)的聲表面波濾波器掩膜版圖。另外，根據(jù)設(shè)計和實際需求，通過改變設(shè)計輸入?yún)?shù)，即可獲得實際所需的聲表面波濾波器光刻版圖，極大地降低了設(shè)計難度。
　　為得到具有實際指導(dǎo)意義的仿真軟件，在建立SPUDT（單相單向換能器）等效電路模型的基礎(chǔ)上，先利用我公司所掌握的現(xiàn)有設(shè)計軟件和數(shù)學(xué)模型對器件指標進行分析，根據(jù)產(chǎn)品的理想曲線推出其全時域上的脈響，重點編制變跡SPUDT、均勻SPUDT、MSC多條耦合器的計算軟件，并對軟件進行調(diào)試；其次借助編