用于精密平臺(tái)的壓電致動(dòng)器研究.pdf

1、壓電致動(dòng)器作為壓電智能材料最重要的應(yīng)用,近年來(lái)成為微電機(jī)領(lǐng)域的一個(gè)研究熱點(diǎn)。在精密定位控制系統(tǒng)中,采用壓電致動(dòng)器作為其驅(qū)動(dòng)控制部件,已經(jīng)成為精密定位控制領(lǐng)域的技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)。本文主要針對(duì)壓電致動(dòng)器在二維精密定位平臺(tái)中的應(yīng)用作了一些相關(guān)的探討,包括壓屯致動(dòng)器的基本理論、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、性能測(cè)試、驅(qū)動(dòng)控制以及應(yīng)用方面的相關(guān)研究。主要研究?jī)?nèi)容和成果如下：
　　 ⑴從壓電效應(yīng)原理和壓電材料特性著手,介紹了壓電致動(dòng)器的基本理論。特別的對(duì)疊層型壓電

2、致動(dòng)器的結(jié)構(gòu)和性能特性進(jìn)行了深入的探討,通過(guò)一系列的實(shí)驗(yàn)來(lái)進(jìn)行分析和研究,為其應(yīng)用打下了基礎(chǔ)。
　　 ⑵基于疊層型壓電致動(dòng)器和正交放大的原理,設(shè)計(jì)了壓電放大致動(dòng)器,并采用有限元分析的方法對(duì)放大結(jié)構(gòu)進(jìn)行建模、分析和優(yōu)化,研制了樣機(jī)并對(duì)其性能進(jìn)行了測(cè)試。同時(shí)對(duì)壓電放大致動(dòng)器的應(yīng)用也做了一些有意義的探討。
　　 ⑶虛擬儀器技術(shù)是現(xiàn)代計(jì)算機(jī)系統(tǒng)和儀器系統(tǒng)相結(jié)合的產(chǎn)物,利用計(jì)算機(jī)的強(qiáng)大功能來(lái)實(shí)現(xiàn)和擴(kuò)展傳統(tǒng)儀器的功能,實(shí)現(xiàn)信號(hào)的采集