行波微流體驅(qū)動(dòng)的理論分析與仿真.pdf

1、隨著MEMS技術(shù)在生物醫(yī)學(xué)分子檢測(cè)和生化分析領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，微型構(gòu)件中流體的驅(qū)動(dòng)與控制技術(shù)的研究已逐漸成為一個(gè)熱點(diǎn)。超聲行波驅(qū)動(dòng)在原理上不同于當(dāng)前各種微流體驅(qū)動(dòng)技術(shù)，它是利用壓電陶瓷的逆壓電效應(yīng)產(chǎn)生超聲振動(dòng)在輸送管道壁上激起行波，使管道內(nèi)的液體產(chǎn)生行波聲場(chǎng)，在雷諾切應(yīng)力、聲流、聲輻射壓力、管壁黏附力和液體分子間的作用力共同作用下，使液體沿行波方向運(yùn)動(dòng)，是一種新的微流體驅(qū)動(dòng)技術(shù)。作為一種新型微流體驅(qū)動(dòng)技術(shù)，超聲行波驅(qū)動(dòng)沒(méi)有可動(dòng)部件，所需驅(qū)

2、動(dòng)電壓低，材料選擇較廣泛，可適用于各種環(huán)境，具有廣泛的應(yīng)用前景。
　　 本文針對(duì)國(guó)家自然科學(xué)基金(項(xiàng)目編號(hào)：10572078)和山東省自然科學(xué)基金(項(xiàng)目編號(hào)：Y2007A16)項(xiàng)目中有關(guān)超聲行波微流體驅(qū)動(dòng)與控制技術(shù)的基本理論和驅(qū)動(dòng)模型，從聲學(xué)和動(dòng)力學(xué)分析的角度進(jìn)行了較為深入的研究。
　　 首先，概述了微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)及微流體系統(tǒng)的發(fā)展現(xiàn)狀，對(duì)目前的幾種微流體驅(qū)動(dòng)與控制技術(shù)作了介紹?；趬弘娞沾傻哪鎵弘娦?yīng)及其材料特

3、性和頻率特性，簡(jiǎn)述了行波的合成，通過(guò)對(duì)聲輻射壓力及聲流產(chǎn)生機(jī)理的研究，得出驅(qū)動(dòng)機(jī)理與模型參數(shù)的關(guān)系，為超聲行波微流體的驅(qū)動(dòng)控制打下理論基礎(chǔ)。
　　 然后，利用ANSYS有限元軟件，對(duì)圓環(huán)形模型結(jié)構(gòu)、動(dòng)力學(xué)特性進(jìn)行了分析研究。通過(guò)有限元模態(tài)分析，討論了模型固有頻率與基體結(jié)構(gòu)參數(shù)的關(guān)系。通過(guò)基于逆壓電效應(yīng)的激振響應(yīng)分析，激勵(lì)出所需振型，得出了響應(yīng)位移隨頻率的變化特性，為模型的進(jìn)一步優(yōu)化設(shè)計(jì)提供指導(dǎo)。通過(guò)瞬態(tài)動(dòng)力學(xué)分析，得出模型起振過(guò)

4、程的響應(yīng)情況。為以后的課題研究打下了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。
　　 最后，針對(duì)接下來(lái)的難點(diǎn)耦合場(chǎng)分析，通過(guò)ANSYS中的FSI（流固耦合接口），建立模型實(shí)現(xiàn)了聲學(xué)流體單元和固體單元（彈性體和壓電體）的耦合，并得到了圓環(huán)溝道內(nèi)聲壓的分布圖，從而對(duì)研究聲流和聲壓在流體驅(qū)動(dòng)中的作用又前進(jìn)了一步。對(duì)圓環(huán)流固耦合模型進(jìn)行瞬態(tài)動(dòng)力學(xué)分析，得到溝道內(nèi)流體在超聲行波激勵(lì)下的流場(chǎng)情況，比較不同時(shí)間子步時(shí)流體域和固體域的位移云圖，得到流體隨固體振動(dòng)情況，分析不