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文檔簡介
1、永磁同步平面電動(dòng)機(jī)直接利用電磁能產(chǎn)生平面運(yùn)動(dòng),具有出力密度高、低熱耗、高精度的特點(diǎn),相對(duì)于傳統(tǒng)的二維平面定位裝置具有反應(yīng)快、靈敏度高、隨動(dòng)性好和結(jié)構(gòu)簡單等優(yōu)點(diǎn),在現(xiàn)代半導(dǎo)體微細(xì)加工裝備和其它超精密二維平面定位裝置中有廣闊的應(yīng)用前景。本文提出一種復(fù)合電流驅(qū)動(dòng)的九相永磁同步平面電動(dòng)機(jī),并進(jìn)行以下幾個(gè)方面的研究。
首先,建立永磁同步平面電機(jī)的數(shù)學(xué)模型,利用標(biāo)量磁位和邊界條件對(duì)平面電動(dòng)機(jī)永磁陣列產(chǎn)生的磁場進(jìn)行解析,通過等效和簡化獲得氣
2、隙中磁感應(yīng)強(qiáng)度的表達(dá)式,進(jìn)而依據(jù)洛倫茲力法和法拉第電磁感應(yīng)定律推導(dǎo)出平面電動(dòng)機(jī)所產(chǎn)生的電磁力和空載反電動(dòng)勢的表達(dá)式,并建立電機(jī)的電壓平衡方程。
其次,在前面解析的基礎(chǔ)上研究該種類型平面電機(jī)的設(shè)計(jì)方法,推導(dǎo)電磁設(shè)計(jì)流程,確定平面電機(jī)的主要尺寸,分析電機(jī)性能和結(jié)構(gòu)參數(shù)之間的關(guān)系,確定動(dòng)子線圈和定子永磁體的設(shè)計(jì)思路。借助于Maxwell3D建立單元平面電機(jī)的有限元仿真模型,利用有限元法分別分析鐵磁邊界、永磁體厚度和線圈截面參數(shù)等對(duì)電
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