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文檔簡介
1、該論文主要研究了陣列式壓力加速度傳感器的基本原理、結構設計及制作工藝技術等.還討論了信號處理電路、非線性自校正、溫度漂移自補償及數(shù)據(jù)融合等技術.論文首先以硅壓阻效應原理為基礎,討論了陣列式硅壓力、加速度傳感器的設計原理,并對陣列式硅壓力、加速度傳感器中集成敏感芯片(壓力、加速度)、總體結構和壓力陣列的信號處理電路進行了設計,在陣列式硅壓力、加速度傳感器的研制中,還研究了半導體平面工藝、大規(guī)模集成電路技術、微機械加工技術(硅硅鍵合、靜電封
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