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文檔簡(jiǎn)介
1、自上個(gè)世紀(jì)60年代圖像傳感器問(wèn)世以來(lái),圖像傳感器便得到了廣泛的應(yīng)用,比如數(shù)碼相機(jī),安防及監(jiān)控設(shè)備,手機(jī),視頻攝像機(jī),醫(yī)療系統(tǒng),機(jī)器視覺(jué),傳感器,電腦攝像頭,游戲設(shè)備等都離不開(kāi)圖像傳感器,可以說(shuō)圖像傳感器已經(jīng)深入的滲透到我們生活的每個(gè)角落。CMOS(互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體)圖像傳感器與CCD(電荷耦合器件)圖像傳感器的研究幾乎是同時(shí)起步,但由于受當(dāng)時(shí)半導(dǎo)體制造工藝水平的限制, CMOS圖像傳感器圖像質(zhì)量差、分辨率低、噪聲高和光照靈敏度不夠,
2、因而沒(méi)有得到重視和發(fā)展。上世紀(jì)90年代初,隨著大規(guī)模集成電路設(shè)計(jì)技術(shù)和工藝制造水平的不斷提高,CMOS圖像傳感器過(guò)去存在的缺點(diǎn)現(xiàn)在都可以找到辦法克服,而且它固有的優(yōu)點(diǎn)更是CCD器件所無(wú)法比擬的,因而它再次成為研究的熱點(diǎn)。
本文首先對(duì)CMOS圖像傳感器的發(fā)展歷史、工作原理、應(yīng)用、工藝特點(diǎn)及發(fā)展趨勢(shì)進(jìn)行了研究,并對(duì)半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)中用到的先進(jìn)失效分析技術(shù)手段、方法的原理和應(yīng)用進(jìn)行了綜述,如光學(xué)顯微鏡、掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡、
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