溫度相關(guān)的二氧化鈦及鋯鈦酸鉛薄膜的橢圓偏振光譜研究.pdf

1、論文獨創(chuàng)性聲明本論文是我個人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進行的研究工作及取得的研究成果。論文中除了特別加以標注和致謝的地方外，不包含其他人或其它機構(gòu)已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果。其他同志對本研究的啟發(fā)和所做的貢獻均已在論文中作了明確的聲明并表示了謝意。論文使用授權(quán)聲明本人完全了解復(fù)旦大學有關(guān)保留、使用學位論文的規(guī)定，即：學校有權(quán)保留送交論文的復(fù)印件，允許論文被查閱和借閱；學校可以公布論文的全部或部分內(nèi)容，可以采用影印、縮印或其它復(fù)制手段保存論文。保密的論

2、文在解密后遵守此規(guī)定。作者簽名：；選生凰導(dǎo)師簽名：目錄IIlllIIIHIIJIIIIIIIIllrlllllIY2867064目錄摘要一IAbstractIII第一章緒論一l11橢圓偏振光譜測量技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用112二氧化鈦(Ti02)薄膜研究背景2121Ti02的結(jié)構(gòu)及應(yīng)用2122Ti02薄膜的制備413鋯鈦酸鉛(PZT)薄膜研究背景5131PZT薄膜的結(jié)構(gòu)及相圖一5132PZT薄膜的制備方法614溫度對光學性質(zhì)的影響715本論文工

3、作介紹8第二章橢偏光譜測量與分析原理一921橢偏光譜測量原理9211材料的光學常數(shù)與Kl“aixlasKronig關(guān)系一9212菲涅爾公式和橢偏參數(shù)的推導(dǎo)11213橢偏參數(shù)的推導(dǎo)1222橢偏儀的構(gòu)造及分析方法13221RAP型橢圓偏振光譜儀13222變溫橢偏裝置15223橢偏光譜分析的模型和方法15224橢偏模型建立及參數(shù)分析1823光學色散模型19231常用的光學色散模型19232有效介質(zhì)理論2224小結(jié)23第三章Ti02薄膜的橢偏研