基于單片機(jī)的壓電閉環(huán)微位移控制系統(tǒng)的研究.pdf

1、國(guó)內(nèi)外傳感器及其控制技術(shù)的發(fā)展強(qiáng)調(diào)以下幾方面的創(chuàng)新：利用新的理論、新的硬件研究開(kāi)發(fā)工程和科技發(fā)展迫切需求的多種新型傳感器、傳感技術(shù)系統(tǒng)以及控制器；著重傳感器與傳感技術(shù)硬件系統(tǒng)與元器件的微小型化。利用集成電路微小型化技術(shù)，從傳感技術(shù)硬件系統(tǒng)的微小型化中提高其可靠性、質(zhì)量、處理速度和生產(chǎn)率，從而降低成本，節(jié)約資源與能源，減少對(duì)環(huán)境的污染。 在該指導(dǎo)思想下，本文重點(diǎn)對(duì)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)下的微位移機(jī)構(gòu)進(jìn)行了深入的研究，攻克了不少關(guān)鍵技術(shù)，例如

2、：柔性鉸鏈的微位移進(jìn)給機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)、靜態(tài)剛度分析，運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的系統(tǒng)仿真，運(yùn)動(dòng)誤差的分析，系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)構(gòu)成以及系統(tǒng)分析評(píng)價(jià)等；同時(shí)，對(duì)于以單片機(jī)為控制平臺(tái)的微位移開(kāi)環(huán)、閉環(huán)控制系統(tǒng)進(jìn)行了系統(tǒng)研究，研制了一套高壓放大驅(qū)動(dòng)器，自主獨(dú)立開(kāi)發(fā)和設(shè)計(jì)了一套用于控制壓電陶瓷的單片機(jī)及其擴(kuò)展控制電路，主要包括D/A轉(zhuǎn)換電路、A/D采樣電路、RS232通訊電路以及LED顯示電路等。在完成大量硬件研制之后，針對(duì)壓電陶瓷的特性與硬件電路，以模塊化思想設(shè)計(jì)了相應(yīng)的開(kāi)