基于AFM的納米機(jī)械刻劃切屑形成研究.pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、山東大學(xué)碩士學(xué)位論文基于AFM的納米機(jī)械刻劃切屑形成研究姓名：趙菲菲申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專(zhuān)業(yè)：機(jī)械制造及其自動(dòng)化指導(dǎo)教師：馮顯英20091020AbstractAbstractScanningprobemicroscopy(SPM)，whichisoneoftheimportanttoolsfornanotechnologyresearch，hasbeenwidelyemployedinnanotechnologyfieldwithits

2、tlighresolutionandabilityofworkinginvacuunl，atmosphericandliquidenvironmentMechanicalscratchingmachiningthatbasedontheatomicforcemicroscope(AFM)haslotsofadvantages，suchashi【ghaccuracymonitoringthesurfacewhilemachiningThe

3、refore，thefurtherresearchtonanoscratchingrelatedtechnologiesbasedonAFM，hasmuchtheorymeaningandpracticalityvalueResearchonchipformationanditsinfluencingfactorsisoneofimportantcontentsinthefieldofMechanicalmachiningresearc

4、hSo，thispaperstudiesfortheinfluencingfactorsonchipformationandmorphologicalcharacteristicsviathemechanicalscratchingmachiningofAFMFirstlytheprocessofneedlepointscratchingandAFMscratchingmechanismareanalyzed。Atthebeginnin

5、gofAFMscratchingmachining，itisaprocessofindentationWiththemovementoftheneedlepointtheaccumulationofmaterialsthatadheretoanteriorneedlepointisgraduallyincreased，thenfracturedandcarriedoffbyneedlepointThatistheformationofc

6、hipWhereaftertheexperimentresearchonscratching、析thdifferentparameters，suchasfeedrate，scratchingspeed，verticalloadandfeeddirectioniscarriedtoanalyzetheirinfluenceonchipformationanditsmorphologicalcharacteristicsFinallythe

7、minimumthicknessofcuttingisstudiedScratchingmonglinemachiningwinldifferentloadiscarriedtofindoutthecriticalloadandmachiningthicknessofchipformationThentheworkpiecesareexchangedtodocontrastiveexperimentsKeywordsatomicforc

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