NiOx-a-Si-ZnO太陽能電池研究.pdf

1、全球正處于能源危機和環(huán)境污染兩大問題的困擾之中，太陽能作為取之不盡、用之不竭的清潔能源越來越受到人類社會的廣泛關注。本論文以探索新材料、提高太陽能電池效率為目的，設計并制備了NiOx/a-Si/AZO結構的太陽能電池。主要內容為以下三個方面：
　　1.直流磁控反應濺射沉積NiOx薄膜，研究了氧氣/氬氣流量比、襯底溫度及退火過程對NiOx薄膜的影響。實驗和分析表明，隨著氧氣/氬氣流量比的增加，薄膜的透過率呈現出減小趨勢、薄膜電阻呈現

2、出先減小后增大趨勢，室溫條件下，氧氣/氬氣流量比為1:1時，制備的NiOx薄膜取得最小的薄膜電阻（0.59 kΩ/□）；隨著制備溫度的升高，薄膜的電阻表現出單調增加，透過率表現出單調下降；真空退火有助于降低薄膜的電阻，但是同時降低了薄膜的透過率。
　　2. RF濺射沉積AZO薄膜。通過EDS和XRD相關分析，表明鋁（Al）被有效的摻入ZnO晶格中形成AZO薄膜；隨著氬氣壓強增大，AZO薄膜表面的粗糙度增加，薄膜的沉積速率隨之下降；

3、AZO薄膜電阻隨著氬氣壓強增大表現出先減小后增大的規(guī)律，當壓強為0.6Pa時，AZO薄膜的電阻率為5×10-4Ω.cm，可見光的透過率高于90％；RF功率為150W時，薄膜有最小的電阻率：4.0×10-4Ω.cm；不同功率下，AZO薄膜的平均透過率高于80%，隨著功率增加，透過率也表現出增加的趨勢；AZO薄膜的光學帶隙寬度（Eg）隨著RF功率增加而減小，當功率為200W時，禁帶寬度約為3.43eV。
　　3.制備了NiOx/a-S