雙層結(jié)構(gòu)紅外焦平面陣列的設(shè)計與制備.pdf

1、微測輻射熱計型非制冷紅外探測器由于其便攜性好、成本低和卓越的性能等優(yōu)點，近年來成為紅外探測器研究中的熱點。然而，傳統(tǒng)單犧牲層器件填充率的提高和器件的熱學(xué)性能的提升有所沖突，影響了器件性能的提升。雙犧牲層微測輻射熱計是一種改進型結(jié)構(gòu)，它可以改善這種沖突，更好地實現(xiàn)器件小型化大陣列器件的需要。
　　本文針對雙犧牲層微測輻射熱計進行研究，通過Intellisuite軟件對雙犧牲層紅外焦平面陣列進行了設(shè)計及力學(xué)仿真。確定了器件制備工藝流程

2、，并繪制了工藝過程中各項版圖。分析了不同結(jié)構(gòu)、不同工藝參數(shù)對器件力學(xué)性能的影響，分別就“傘”狀結(jié)構(gòu)、“奇點”和改進型“傘”狀結(jié)構(gòu)的引入，橋面厚度、橋腿寬度和薄膜殘余應(yīng)力的改變進行了仿真。
　　論文探索了犧牲層的制備工藝，得到了一個較優(yōu)的工藝參數(shù)，包括聚酰亞胺厚度、亞胺化條件和釋放工藝。制備了結(jié)構(gòu)簡化的雙犧牲層支撐結(jié)構(gòu)陣列，該結(jié)構(gòu)簡化了其它材料而僅僅包含了氮化硅的支撐。制備了結(jié)構(gòu)完整的單犧牲層和雙犧牲層紅外焦平面陣列。
　　對