微納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的機(jī)架設(shè)計(jì)及不確定度分析.pdf

1、隨著納米測(cè)試技術(shù)的發(fā)展，對(duì)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)性能及精度不斷提出新的、更高的要求，人們通過(guò)對(duì)傳統(tǒng)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)多方面改進(jìn)，使得三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的性能逐步提高，但要實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度測(cè)量，還有很多問(wèn)題亟待解決。其中納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的主體結(jié)構(gòu)對(duì)精度及性能的影響引起廣泛重視，因此對(duì)主體結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，減小測(cè)量機(jī)結(jié)構(gòu)的力變形、熱變形，提高測(cè)量機(jī)的穩(wěn)定性，成為納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)研究的重要組成部分。
　　 本文首先通過(guò)分析三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)幾種傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)的力變形，在

2、此基礎(chǔ)上，應(yīng)用ANSYS對(duì)納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的主體結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，提出了一種新型拱形亭式納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的機(jī)架結(jié)構(gòu)。通過(guò)對(duì)結(jié)構(gòu)的變形分析和模態(tài)分析，結(jié)果表明，該新型結(jié)構(gòu)對(duì)提高測(cè)量機(jī)的性能和精度具有顯著的優(yōu)越性。同時(shí)分析了該結(jié)構(gòu)測(cè)量機(jī)的誤差源，對(duì)其精度進(jìn)行了設(shè)計(jì)。
　　 設(shè)計(jì)了懸臂式微納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的主體結(jié)構(gòu)，給出了各部分結(jié)構(gòu)的具體數(shù)值和裝配方式，并加工出實(shí)物機(jī)臺(tái)。同時(shí)主體結(jié)構(gòu)進(jìn)行了自重分析和模態(tài)分析，獲取了該結(jié)構(gòu)的一些具體參數(shù)